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Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Authors: Hilleringmann, Ulrich

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  • Umfassende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen
  • Fertigungsverfahren und Technologien in der Mikroelektronik
  • Aktuelle Verfahren der mikroelektronischen Integrationstechnik
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About this Textbook

Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 10 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erläutert. Das Lehrbuch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik.

About the authors

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Table of contents (13 chapters)

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Bibliographic Information

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Book Title
Silizium-Halbleitertechnologie
Book Subtitle
Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Authors
Copyright
2014
Publisher
Springer Vieweg
Copyright Holder
Springer Fachmedien Wiesbaden
eBook ISBN
978-3-8348-2085-3
DOI
10.1007/978-3-8348-2085-3
Edition Number
6
Number of Pages
XI, 263
Number of Illustrations
160 b/w illustrations
Topics