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Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen

Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen

Authors: Lipinsky, Dieter

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  • ISBN 978-3-663-14558-5
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Bibliographic Information

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Book Title
Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen
Book Subtitle
Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen
Authors
Copyright
1995
Publisher
Deutscher Universitätsverlag
Copyright Holder
Springer Fachmedien Wiesbaden
eBook ISBN
978-3-663-14558-5
DOI
10.1007/978-3-663-14558-5
Softcover ISBN
978-3-8244-2066-7
Edition Number
1
Number of Pages
IV, 211
Number of Illustrations
8 b/w illustrations
Topics