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Silizium-Halbleitertechnologie

Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik

Authors: Hilleringmann, Ulrich

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  • Umfassende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen
  • Fertigungsverfahren und Technologien in der Mikroelektronik
  • Aktuelle Verfahren der mikroelektronischen Integrationstechnik
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About this Textbook

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert.

About the authors

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Table of contents (13 chapters)

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Bibliographic Information

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Book Title
Silizium-Halbleitertechnologie
Book Subtitle
Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Authors
Copyright
2019
Publisher
Springer Vieweg
Copyright Holder
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, ein Teil von Springer Nature
eBook ISBN
978-3-658-23444-7
DOI
10.1007/978-3-658-23444-7
Softcover ISBN
978-3-658-23443-0
Edition Number
7
Number of Pages
XI, 275
Number of Illustrations
177 b/w illustrations
Topics