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Halbleiter-Elektronik

Technologie hochintegrierter Schaltungen

Authors: Widmann, Dietrich, Mader, Hermann, Friedrich, Hans

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  • ISBN 978-3-642-97059-7
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About this book

Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunächst sehr ausführlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, Ätz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele für die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen. Sowohl die Einzelprozesse als auch die Prozeßintegration sind anschaulich mit zahlreichen Bildern dargestellt. Das Buch vermittelt nicht nur eine gute Übersicht, sondern auch sehr detaillierte Informationen über den modernsten Stand der Technologie hochintegrierter Schaltungen, wie sie z.B. bei der Herstellung des dynamischen IMEGA-Bit-Speichers Anwendung findet. Darüber hinausgehende Entwicklungen, die in den Sub-Mikrometer-Bereich führen, werden ebenfalls beschrieben.

Table of contents (10 chapters)

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Bibliographic Information

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Book Title
Technologie hochintegrierter Schaltungen
Authors
Series Title
Halbleiter-Elektronik
Series Volume
19
Copyright
1988
Publisher
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Copyright Holder
Springer-Verlag Berlin, Heidelberg
eBook ISBN
978-3-642-97059-7
DOI
10.1007/978-3-642-97059-7
Series ISSN
0172-5882
Edition Number
1
Number of Pages
320
Topics