Teubner Studienbücher Technik

Silizium-Halbleitertechnologie

Authors: Hilleringmann, Ulrich

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  • Umfassende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen.

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  • ISBN 978-3-322-94072-8
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About this Textbook

Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 100 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erläutert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. Zur weiteren Verdeutlichung des Stoffes wurden in der 4. Auflage Abbildungen und vor allem weitere Übungsaufgaben ergänzt.
"Ulrich Hilleringmann ist mit seinem (...) Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie präzise und doch stets verständlich darzustellen."
Elektronik, 11/2003

About the authors

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Reviews

"Vakuumtechnik und Nasschemie sind eben nicht jedermanns Sache und dementsprechend groß ist der Bedarf an einer verständlichen Einführung in dieses Feld. Ulrich Hilleringmann ist mit seinem jetzt in der dritten Auflage vorliegendem Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie präzise und doch stets verständlich darzustellen."
Elektronik, 11/2003

Table of contents (13 chapters)

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Bibliographic Information

Bibliographic Information
Book Title
Silizium-Halbleitertechnologie
Authors
Series Title
Teubner Studienbücher Technik
Copyright
2004
Publisher
Vieweg+Teubner Verlag
Copyright Holder
Springer Fachmedien Wiesbaden
eBook ISBN
978-3-322-94072-8
DOI
10.1007/978-3-322-94072-8
Edition Number
4
Number of Pages
IX, 326
Number of Illustrations
279 b/w illustrations
Topics