Silicon Anodization as a Structuring Technique

Literature Review, Modeling and Experiments

Authors: Ivanov, Alexey

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  • Study in technical sciences

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この書籍について

Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the developed FEM model with secondary current distribution are discussed.

著者について

Alexey Ivanov is currently working  as a research scientist at the Fraunhofer Institute for Solar Energy Systems (Fraunhofer ISE, Germany) on developing and optimizing anodization processes for large-scale fabrication of semiconductor photovoltaic cells and batteries.

Table of contents (6 chapters)

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書誌情報

Bibliographic Information
Book Title
Silicon Anodization as a Structuring Technique
Book Subtitle
Literature Review, Modeling and Experiments
Authors
Copyright
2018
Publisher
Springer Vieweg
Copyright Holder
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
イーブック ISBN
978-3-658-19238-9
DOI
10.1007/978-3-658-19238-9
ソフトカバー ISBN
978-3-658-19237-2
Edition Number
1
Number of Pages
XXIX, 316
Number of Illustrations
138 b/w illustrations, 3 illustrations in colour
Topics