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RWTHedition

Introduction to Microsystem Design

Autoren: Schomburg, Werner Karl

Vorschau
  • Provides a thorough revision of the first edition
  • Covers important topics in the field of micro systems
  • Written by an expert in the field
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  • ISBN 978-3-662-47023-7
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Über dieses Buch

This book systematically describes the design options for micro systems as well as the equations needed for calculating the behavior of their basic elements. The fundamental equations needed to calculate the effects and forces that are important in micro systems are also provided. Readers do not require previous knowledge of fabrication processes. This second edition of the volume is a thoroughly revised and extended update. The target audience primarily comprises experts in the field of micro systems and the book is also suitable for graduate engineering students. For quick reference, equations are presented in tables that can be found in an index at the end of the book.

Inhaltsverzeichnis (24 Kapitel)

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Bibliografische Information

Bibliographic Information
Buchtitel
Introduction to Microsystem Design
Autoren
Titel der Buchreihe
RWTHedition
Copyright
2015
Verlag
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Copyright Inhaber
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
eBook ISBN
978-3-662-47023-7
DOI
10.1007/978-3-662-47023-7
Hardcover ISBN
978-3-662-47022-0
Softcover ISBN
978-3-662-50733-9
Buchreihen ISSN
1865-0899
Auflage
2
Seitenzahl
XXIV, 374
Anzahl der Bilder
48 schwarz-weiß Abbildungen, 332 Abbildungen in Farbe
Themen