Mikromechanik

Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftsträchtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich für jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; für den Studierenden ebenso wie für den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.

"... ein wesentlicher Beitrag zu diesem sich rasch entwickelnden Gebiet ... hat es verstanden, die Beiträge hervorragender Fachleute ... zu einem Lehr- und Nachschlagewerk zu verbinden, das einen vollständigen Überblick über den Stand der Mikrostrukturtechnik gibt und dem Fachmann eine Fülle von Detailwissen vermittelt. ... der Stoff sorgfältig ausgewählt und behandelt und vom Bildmaterial sowie der graphischen Gestaltung her von hoher Qualität. ..." (Der Fraunhofer) "...helfen ausgewählte Beispiele, den Anwendungsbezug zu dem zuvor Beschriebenen herzustellen. ... Einige Bemerkungen über die Mikromechanik als künftige Basis der Systemintegration und ein ausführliches Sachverzeichnis runden das Gesamtwerk ab. Es liegt in der ... bekannten hochwertigen Qualität in Text, Grafik und Bildwiedergabe vor. ..." (Werkstattstechnik)