Mikrosystemtechnik

Konzepte und Anwendungen

Autoren: Mescheder, Ulrich

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  • ISBN 978-3-322-84878-9
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Über dieses Lehrbuch

Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile der Mikrosystemtechnik erfolgreich nutzen zu können benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und der Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle und Festigung des behandelten Stoffes. Neben wichtigen Korrekturen informiert die zweite Auflage ergänzend über neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren sowie über Mikroschalter im Bereich Aktorik. Im Internet finden sich unter http://mescheder.net/ulrich/ Ergänzungen zum Buch und Lösungen zu den Aufgaben.

Über die Autor*innen

Prof. Dr. Ulrich Mescheder ist Leiter des Mikroelektronik-Laboratoriums am Fachbereich Mechatronik und Mikrosysteme der Fachhochschule Furtwangen.

Stimmen zum Buch

"Das Buch Mikrosystemtechnik nimmt unter den Lehrbüchern einen herausragenden Platz ein."
Physik Journal, 04/2005

Inhaltsverzeichnis (6 Kapitel)

Inhaltsverzeichnis (6 Kapitel)
  • Einführung und Begriffsbestimmung

    Seiten 1-10

    Mescheder, Ulrich

  • Werkstoffe und technologische Grundlagen

    Seiten 11-60

    Mescheder, Ulrich

  • Mikromechanische Sensoren

    Seiten 61-120

    Mescheder, Ulrich

  • Aktorik in der Mikrosystemtechnik

    Seiten 121-174

    Mescheder, Ulrich

  • Optik in der Mikrosystemtechnik

    Seiten 175-217

    Mescheder, Ulrich

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Bibliografische Information

Bibliographic Information
Buchtitel
Mikrosystemtechnik
Buchuntertitel
Konzepte und Anwendungen
Autoren
Copyright
2004
Verlag
Vieweg+Teubner Verlag
Copyright Inhaber
Vieweg + Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
eBook ISBN
978-3-322-84878-9
DOI
10.1007/978-3-322-84878-9
Softcover ISBN
978-3-519-16256-8
Auflage
2
Seitenzahl
XII, 292
Themen