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Mikrosystementwurf

Entwurf und Simulation von Mikrosystemen

  • Textbook
  • © 2000

Overview

Authors:
  1. Manfred Kasper

    1. Technische Universität Hamburg-Harburg, Hamburg

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  • In einer wichtiger werdenden Disziplin will dieses Lehr- und Fachbuch die grundsätzlichen Ideen der Mikrosystemtechnik einmal ganz anders vorstellen: Nicht wie bisher üblich unter dem Technologieaspekt, sondern anhand und mit Hilfe der Entwurfstechniken von Mikrosystemen

  • Dabei legt der Autor besonderen Wert auf Zusammenhänge und Analogien, um die Komplexität des Themas aufzubrechen

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Table of contents (13 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-XV
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  2. Einführung

    • Manfred Kasper
    Pages 1-35

  3. Technologien der Mikrosystemtechnik

    • Manfred Kasper
    Pages 36-63

  4. Werkstoffe der Mikrosystemtechnik

    • Manfred Kasper
    Pages 64-87

  5. Allgemeine Entwurfsmethoden

    • Manfred Kasper
    Pages 88-102

  6. Systemsimulation

    • Manfred Kasper
    Pages 103-128

  7. Beschreibung physikalischer Vorgänge durch Netzwerkmodelle

    • Manfred Kasper
    Pages 129-152

  8. Makromodelle

    • Manfred Kasper
    Pages 153-194

  9. Numerische Feldberechnung

    • Manfred Kasper
    Pages 195-233

  10. Systemintegration

    • Manfred Kasper
    Pages 234-260

  11. Physikalischer Entwurf und Systemintegration

    • Manfred Kasper
    Pages 261-290

  12. Systemoptimierung

    • Manfred Kasper
    Pages 291-319

  13. Mikroaktoren

    • Manfred Kasper
    Pages 320-347

  14. Sensoren

    • Manfred Kasper
    Pages 348-376

  15. Back Matter

    Pages 377-382
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Keywords

About this book

Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Maßstabänderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenhänge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexität leicht unüberschaubar wird.

Authors and Affiliations

  • Technische Universität Hamburg-Harburg, Hamburg

    Manfred Kasper

Bibliographic Information

  • Book Title: Mikrosystementwurf

  • Book Subtitle: Entwurf und Simulation von Mikrosystemen

  • Authors: Manfred Kasper

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-57123-7

  • Publisher: Springer Berlin, Heidelberg

  • eBook Packages: Springer Book Archive

  • Copyright Information: Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2000

  • Softcover ISBN: 978-3-540-66497-0Published: 18 October 1999

  • eBook ISBN: 978-3-642-57123-7Published: 28 June 2011

  • Edition Number: 1

  • Number of Pages: XVI, 382

  • Number of Illustrations: 85 b/w illustrations

  • Topics: Electronics and Microelectronics, Instrumentation, Nanotechnology

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