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Optische in situ Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien

  • Book
  • © 1998

Overview

Authors:
  1. Peter Stratil

    1. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Deutschland

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Part of the book series: IPA-IAO - Forschung und Praxis (IPA, volume 265)

  • 366 Accesses

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Table of contents (9 chapters)

  1. Front Matter

    Pages 1-14
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  2. Einleitung

    • Peter Stratil
    Pages 15-18

  3. Klassifizierung plasmaunterstützter Oberflächentechnologien und Plasmen

    • Peter Stratil
    Pages 19-40

  4. Technischer Stand plasmaunterstützter Oberflächenprozesse

    • Peter Stratil
    Pages 41-67

  5. Basis der in situ-Plasmadiagnostik

    • Peter Stratil
    Pages 68-89

  6. Umsetzung der Plasmadiagnostik (Experiment zum industriellen Aufbau)

    • Peter Stratil
    Pages 90-105

  7. Charakterisierung eines Plasmaprozesses: praktische Anwendung der passiven optischen in situ-Plasmadiagnostik

    • Peter Stratil
    Pages 106-127

  8. Überprüfung der dargestellten Ansätze: plasmaunterstützter Kombinationsprozeß haftfester a-C:H-Schichten auf vornitrierten Stahlsubstraten

    • Peter Stratil
    Pages 128-129

  9. Zusammenfassung

    • Peter Stratil
    Pages 130-132

  10. Literaturhinweise

    • Peter Stratil
    Pages 133-142

  11. Back Matter

    Pages 143-147
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Keywords

Authors and Affiliations

  • Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Deutschland

    Peter Stratil

Bibliographic Information

  • Book Title: Optische in situ Meßtechniken bei der Entwicklung und Anwendung von plasmaunterstützten Oberflächentechniken für räumlich ausgedehnte und komplexe Geometrien

  • Authors: Peter Stratil

  • Series Title: IPA-IAO - Forschung und Praxis

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-47916-8

  • Publisher: Springer Berlin, Heidelberg

  • eBook Packages: Springer Book Archive

  • Copyright Information: Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1998

  • Softcover ISBN: 978-3-540-64400-2Published: 20 April 1998

  • eBook ISBN: 978-3-642-47916-8Published: 09 March 2013

  • Edition Number: 1

  • Number of Pages: 146

  • Number of Illustrations: 44 b/w illustrations

  • Topics: Industrial and Production Engineering

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