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  • Book
  • © 1995

Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen

Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen

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Table of contents (7 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-2
  2. Einleitung

    • Dieter Lipinsky
    Pages 3-5
  3. Theoretische Grundlagen

    • Dieter Lipinsky
    Pages 6-43
  4. Apparaturbeschreibung

    • Dieter Lipinsky
    Pages 44-67
  5. Probensysteme und Meßablauf

    • Dieter Lipinsky
    Pages 68-78
  6. Tiefenprofilanalyse oxidischer Schichtsysteme

    • Dieter Lipinsky
    Pages 111-177
  7. Zusammenfassung und Ausblick

    • Dieter Lipinsky
    Pages 178-180
  8. Back Matter

    Pages 181-211

Bibliographic Information

  • Book Title: Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen

  • Book Subtitle: Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen

  • Authors: Dieter Lipinsky

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-663-14558-5

  • Publisher: Deutscher Universitätsverlag Wiesbaden

  • eBook Packages: Springer Book Archive

  • Copyright Information: Springer Fachmedien Wiesbaden 1995

  • Softcover ISBN: 978-3-8244-2066-7Published: 01 January 1995

  • eBook ISBN: 978-3-663-14558-5Published: 29 July 2013

  • Edition Number: 1

  • Number of Pages: IV, 211

  • Number of Illustrations: 8 b/w illustrations

  • Topics: Mass Spectrometry, Engineering, general

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