MEMS in der Mikrosystemtechnik

1. Front Matter

   Pages 1-9

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2. Einführung

   • Markus Glück

   Pages 11-20

3. Grundlagen

   • Markus Glück

   Pages 21-64

4. Verfahren der MEMS Fertigung

   • Markus Glück

   Pages 65-91

5. Temperatursensoren

   • Markus Glück

   Pages 93-105

6. Magnetfeldsensoren

   • Markus Glück

   Pages 107-118

7. Strahlungssensoren und Fotodetektoren

   • Markus Glück

   Pages 119-137

8. Mikro-Elektro-Mechanische Sensorsysteme

   • Markus Glück

   Pages 139-161

9. Chemische Sensoren

   • Markus Glück

   Pages 163-168

10. Systemintegration und Datenübertragung

    • Markus Glück

    Pages 169-183

11. Energieversorgung

    • Markus Glück

    Pages 185-194

12. Back Matter

    Pages 195-212

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Sie messen den Reifendruck, lösen in Millisekunden Airbags aus und helfen Autofahrern beim Einparken. Mit ihnen bestimmen Mediziner den Sauerstoffgehalt im Blut. In Spül- und Waschmaschinen stellen sie den Verschmutzungs- und Härtegrad des Wassers fest. Sie sorgen dafür, dass winzige elektronische Bauteile auf den tausendsten Millimeter genau auf Leiter­ platten platziert werden. Vom Automobil über hoch komplizierte Maschinen bis hin zur klini­ schen Medizin funktioniert kaum mehr etwas ohne mikrosystemtechnische Sensoren. Schon heute sind die ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (abgekürzt: MEMS) aus unserem täglichen Leben nicht mehr wegzudenken. Airbags, ABS- und ESP Systeme, Herz­ schrittmacher und Mobiltelefone sind nur einige Beispiele für Produkte, in denen mikrotech­ nische Produkte eine entscheidende Rolle spielen. In eben dieser enormen Breite des Anwendungsspektrums liegt die besondere Bedeutung dieser Querschnitttechnologie - einer Königsdisziplin der Mechatronik und der Mikrosystem­ technik. Dennoch vollzog sich in den letzten Jahren ein fundamentaler Wandel. Unter dem Oberbegriff der ,,Mikroelektromechanischen Sensorsysteme" (oder MEMS) wird zusehends die Integration von Sensoren und Aktuatoren der Mechatronik, der Mikrosystemtechnik und der Mikroelektronik unter Ausnutzung moderner Massenfertigungstechnologien verstanden. Dadurch erschließen sich überaus attraktive Anwendungsmöglichkeiten in den Bereichen Automobilelektronik, der Umwelt-, der Automatisierungs- sowie der Luft- und Raumfahrt­ technik. Hierbei kommt der ,,Mikromechatronik" - der Synthese aus Mikromechanik, Mikro­ elektronik sowie der Informations- und Kommunikationtechnik als kybernetisches System auf einem miniaturisierten Funktionsträger - eine bedeutsameSchrittmacherfunktion zu. Mehr und mehr wird die ,,Mikromechatronik" zur Grundlage für innovative Produkte mit gesteiger­ ter Funktionalität, höherer Zuverlässigkeit und besserer Wirtschaftlichkeit.

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  Markus Glück

Dr.-Ing. Markus Glück ist Geschäftsführer und Leiter des Technologiezentrum Westbayern und seit 2003 Lehrbeauftragter an der FH Augsburg.

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