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Mikroelektromechanische Sensoren - Bausteine der Mechatronik und Mikrosystemtechnik
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Authors and Affiliations
-
Technologie Centrum Westbayern, Nördlingen, Deutschland
Markus Glück
About the author
Bibliographic Information
Book Title: MEMS in der Mikrosystemtechnik
Book Subtitle: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
Authors: Markus Glück
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-663-10778-1
Publisher: Vieweg+Teubner Verlag Wiesbaden
eBook Packages: Computer Science and Engineering (German Language)
Copyright Information: Springer Fachmedien Wiesbaden 2005
eBook ISBN: 978-3-663-10778-1Published: 27 February 2015
Edition Number: 1
Number of Pages: 212
Number of Illustrations: 92 b/w illustrations
Topics: Engineering, general, Electronics and Microelectronics, Instrumentation