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Gelli A. Spescha
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Forschungsinstitut Gesellschaft zur Förderung der Glimmentladungsforschung e. V. Köln, Deutschland
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Normalerweise werden Glimmentladungen mit Gleich- oder Wechselspannung be trieben. Für spezielle Anwendungen ist es zweckmäßig, eine impulsförmige Spannung zu benützen (zum Beipiel zur Erzielung einer hohen Plasmatemperatur oder einer starken Katodenabstäubung). Es kann vorteilhaft sein, die Entladung nur mit Impulsen zu betreiben, oder die Impulse einer Gleichspannung zu überlagern. Für einen solchen Betrieb einer Glimmentladung wurde eine Speiseeinheit mit kapazi tiver Speicherung entwickelt. Die Schaltung ist im Prinzip sehr einfach: Ein Konden sator wird über ein Thyratron und einen Widerstand vom Netz aufgeladen und an schließend über ein Thyratron und eventuell einen kleinen Widerstand auf die Last ent laden. Im Fall einer Glimmentladung als Last kann sogar auf die Thyratrons verzichtet werden, wenn keine konkreten Forderungen bezüglich der Entladungsgrößen gestellt werden. Aus im folgenden dargelegten Gründen wurde jedoch die beschriebene Anlage mit wesentlich höherem Aufwand unter Verwendung von 4 Thyratrons und einer Digital steuerung für die Gitterimpulse gebaut. Die Gründe für diesen Aufwand liegen in der Verwirklichung folgender Forderungen: pie Impulse lassen sich dadurch bezüglich Amplitude, Dauer und Abstand genau und reproduzierbar einstellen. Obige drei Größen können in weiten Grenzen variiert werden. Die Bedienung ist einfach. Es wird eine hohe Betriebssicherheit erreicht vor allem durch viele Selbstüberwachungsschaltungen, so daß auch unbeaufsichtigter Dauer betrieb möglich ist. Die Anlage vermag Leistungsspitzen bis zu 200 kW abzugeben. Die wichtigsten Be triebsdaten sind: mittlere Ausgangsleistung auf eine Glimmentladung ca. 2 kW, maxi male Ausgangsspannung 3500 V, Impulsdauer 0,5 ms bis 10 ms, Impulsabstand 80 ms bis 3,2 s.
Authors and Affiliations
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Forschungsinstitut Gesellschaft zur Förderung der Glimmentladungsforschung e. V. Köln, Deutschland
Gelli A. Spescha
