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Prozeßtechnologie

Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen

  • Book
  • © 1991

Overview

Authors:
  1. Günter Schumicki

    1. Abt. Technologie Entwicklung, Philips GmbH Röhren- und Halbleiterwerke, Hamburg 54, Deutschland

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  2. Peter Seegebrecht

    1. Abt. Integrierte Schaltungen, Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie, München 60, Deutschland

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Part of the book series: Mikroelektronik (MIKROELEKTRONIK)

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Table of contents (16 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-XVI
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  2. Einleitung

    • P. Seegebrecht, G. Schumicki
    Pages 1-4

  3. Reinstraumtechnologie

    • F. Zimmermann, G. Schumicki
    Pages 5-22

  4. Materialtechnologie

    • T. Evelbauer, P. Seegebrecht
    Pages 23-52

  5. Strukturerzeugung

    • J. -H. Fock, H. Fehling
    Pages 53-103

  6. Strukturübertragung

    • J. Frick, F. Zimmermann
    Pages 105-142

  7. Thermische Oxidation

    • P. Seegebrecht, N. Bündgens
    Pages 143-188

  8. CVD-Verfahren

    • P. Seegebrecht, N. Bündgens, R. Schneider
    Pages 189-242

  9. Metallisierung

    • G. Schumicki, P. Seegebrecht
    Pages 243-260

  10. Diffusionsverfahren

    • P. Seegebrecht, N. Bündgens
    Pages 261-288

  11. Ionenimplantation

    • P. Seegebrecht
    Pages 289-320

  12. Reinigungsverfahren

    • T. Evelbauer, G. Schumicki
    Pages 321-325

  13. Prozeßintegration

    • P. Seegebrecht
    Pages 327-383

  14. Design-Regeln

    • H. Fehling, G. Schumicki
    Pages 385-402

  15. Prozeßcharakterisierung

    • B. Strycharczyk, G. Schumicki, P. Seegebrecht
    Pages 403-436

  16. Prozeßkontrolle

    • B. Strycharczyk, G. Schumicki
    Pages 437-449

  17. Ausbeute und Zuverlässigkeit

    • T. Evelbauer, G. Schumicki
    Pages 451-467

  18. Back Matter

    Pages 469-500
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Keywords

Authors and Affiliations

  • Abt. Technologie Entwicklung, Philips GmbH Röhren- und Halbleiterwerke, Hamburg 54, Deutschland

    Günter Schumicki

  • Abt. Integrierte Schaltungen, Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie, München 60, Deutschland

    Peter Seegebrecht

Bibliographic Information

  • Book Title: Prozeßtechnologie

  • Book Subtitle: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen

  • Authors: Günter Schumicki, Peter Seegebrecht

  • Series Title: Mikroelektronik

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-09540-9

  • Publisher: Springer Berlin, Heidelberg

  • eBook Packages: Springer Book Archive

  • Copyright Information: Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1991

  • Softcover ISBN: 978-3-540-17670-1Published: 08 March 1991

  • eBook ISBN: 978-3-662-09540-9Published: 18 April 2013

  • Series ISSN: 1431-6021

  • Edition Number: 1

  • Number of Pages: XVI, 500

  • Number of Illustrations: 168 b/w illustrations

  • Topics: Electronics and Microelectronics, Instrumentation

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