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Technologie hochintegrierter Schaltungen

  • Book
  • © 1988

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Authors:
  1. Dietrich Widmann

    1. Unternehmensbereich Bauelemente, Siemens AG, München, Deutschland

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  2. Hermann Mader

    1. Fachbereich Elektrotechnik , Fraunhofer-Institut für Mikrostrukturtechnik, Fachhochschule München, Berlin, Deutschland

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  3. Hans Friedrich

    1. MEGA-Projektes, Siemens AG, München, Deutschland

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Part of the book series: Halbleiter-Elektronik (HALBLEITER, volume 19)

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Table of contents (10 chapters)

  1. Front Matter

    Pages 1-11
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  2. Bezeichnungen und Symbole

    • Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 13-16

  3. Einleitung

    • Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 17-22

  4. Grundzüge der Technologie von Integrierten Schaltungen

    • Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 23-31

  5. Schichttechnik

    • Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 32-114

  6. Lithographie

    • Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 115-188

  7. Ätztechnik

    • Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 189-222

  8. Dotiertechnik

    • Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 223-249

  9. Reinigungstechnik

    • Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 250-260

  10. Der Gesamtprozeß — Architektur und Integration

    • Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 261-307

  11. Strukturverkleinerung in der MOS-Technik

    • Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 308-313

  12. Back Matter

    Pages 314-322
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Keywords

About this book

Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunächst sehr ausführlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, Ätz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele für die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen. Sowohl die Einzelprozesse als auch die Prozeßintegration sind anschaulich mit zahlreichen Bildern dargestellt. Das Buch vermittelt nicht nur eine gute Übersicht, sondern auch sehr detaillierte Informationen über den modernsten Stand der Technologie hochintegrierter Schaltungen, wie sie z.B. bei der Herstellung des dynamischen IMEGA-Bit-Speichers Anwendung findet. Darüber hinausgehende Entwicklungen, die in den Sub-Mikrometer-Bereich führen, werden ebenfalls beschrieben.

Authors and Affiliations

  • Unternehmensbereich Bauelemente, Siemens AG, München, Deutschland

    Dietrich Widmann

  • Fachbereich Elektrotechnik , Fraunhofer-Institut für Mikrostrukturtechnik, Fachhochschule München, Berlin, Deutschland

    Hermann Mader

  • MEGA-Projektes, Siemens AG, München, Deutschland

    Hans Friedrich

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