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Technologie der III/V-Halbleiter

III/V-Heterostrukturen und elektronische Höchstfrequenz-Bauelemente

  • Textbook
  • © 1997

Overview

Authors:
  1. Werner Prost

    1. Fachbereich Elektrotechnik, Gerhard-Mercator-Universität, Duisberg, Deutschland

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  • Modernes Lehrbuch mit methodischem Ansatz
  • Neueste Entwicklungen und aktuelle internationale Fachliteratur
  • Einzigartig: Ausführliche Behandlung von Heterostrukturen
  • Forschungspreis NRW 1990 für Werner Prost

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Table of contents (8 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-IX
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  2. Herstellung von III/V-Halbleiter-Heterostrukturen

    1. Einleitung

      • Werner Prost
      Pages 1-2

    2. Halbleiter-Materialsysteme

      • Werner Prost
      Pages 3-17

    3. Halbleiterkristallzucht (GaAs)

      • Werner Prost
      Pages 19-23

    4. Herstellung aktiver Bauelementschichten

      • Werner Prost
      Pages 25-68

    5. Material-Charakterisierung von Halbleiter-Heterostrukturen

      • Werner Prost
      Pages 69-91

  3. Technologie elektronischer Höchstfrequenz-Bauelemente

    1. Abscheidung und Charakterisierung dielektrischer Schichten

      • Werner Prost
      Pages 93-113

    2. Bauelementtechnologie

      • Werner Prost
      Pages 115-167

    3. Umweltschutz und Arbeitssicherheit

      • Werner Prost
      Pages 169-183

  4. Back Matter

    Pages 185-206
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About this book

Für zahlreiche neue Anwendungen vor allem in der Kommunikationstechnik sind die III-V-Verbindungshalbleiter die technologische Basis. Entsprechend wertvoll wird das Wissen über die Herstellungstechniken von Bauelementen für integrierte Mikrowellenschaltungen, denen dieses Werk gewidmet ist. Es wendet sich als Lehr- und Fachbuch an Studenten und Entwicklungsingenieure, denen der Einstieg in dieses Gebiet durch den methodischen Ansatz und den Verweis auf die aktuelle internationale Fachliteratur erleichtert wird. Besonders hervorzuheben ist die ausführliche Behandlung von Halbleiter-Heterostukturen.

Authors and Affiliations

  • Fachbereich Elektrotechnik, Gerhard-Mercator-Universität, Duisberg, Deutschland

    Werner Prost

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