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  • Textbook
  • © 1991

Halbleiter-Technologie

Authors:

  1. Ingolf Ruge

    1. München, Deutschland

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  2. Hermann Mader

    1. München, Deutschland

    View author publications

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Part of the book series: Halbleiter-Elektronik (HALBLEITER, volume 4)

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Table of contents (11 chapters)

  1. Front Matter

    Pages N2-XVIII
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  2. Der ideale Einkristall

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 1-7

  3. Der reale Kristall

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 8-14

  4. Herstellung von Einkristallen

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 15-54

  5. Dotiertechnologien

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 55-122

  6. Der Metall-Halbleiter-Kontakt

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 123-137

  7. Meßverfahren zur Ermittlung von Halbleiterparametern

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 138-170

  8. Kristallvorbereitung

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 171-178

  9. Technologie Integrierter Schaltungen

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 179-239

  10. Gehäuse- und Montagetechnik

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 240-256

  11. Mikromechanik

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 257-263

  12. Anhang

    • Ingolf Ruge, Hermann Mader
    Pages 264-272

  13. Back Matter

    Pages 273-288
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About this book

Aus den Besprechungen: "Der Autor wendet sich mit diesem Buch an Leser, die Halbleiterkomponenten herstellen wollen. Er versucht einen Mittelweg zu nehmen, indem er sich auf grundlegende Theorien abstützt, aber auch technologische Prozesse beschreibt. Auch Schwierigkeiten, die entstehen, wenn neu entwickelte Technologien in die Produktion übergeführt werden müssen, verschweigt er nicht. ..." #PTT Bulletin technique/Technische Mitteilungen# "... Dem Autor dieses Buches ist es gelungen, sowohl die grundlegenden Theorien als auch die technologischen Prozesse und Verfahren in einer lebendigen und eindrucksvollen Art zu behandeln. Das Buch wird viele Freunde finden." #Elin-Zeitschrift# "Das Buch schließt eine Lücke in der deutschsprachigen Literatur, die von Lehrenden und Lernenden und sicher auch von Praktikern stark empfunden wurde. Der Versuch des Verfassers, sich bei der Beschreibung der technologischen Prozesse nicht in Einzelheiten zu verlieren, vielmehr das Grundsätzliche herauszustellen und auch theoretisch abzustützen, darf als geglückt bezeichnet werden..." #AEU Archiv für Elektronik und Übertragungstechnik#
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Keywords

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Authors and Affiliations

  • München, Deutschland

    Ingolf Ruge, Hermann Mader

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Bibliographic Information

  • Book Title: Halbleiter-Technologie

  • Authors: Ingolf Ruge, Hermann Mader

  • Series Title: Halbleiter-Elektronik

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-58235-6

  • Publisher: Springer Berlin, Heidelberg

  • eBook Packages: Springer Book Archive

  • Copyright Information: Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1991

  • Softcover ISBN: 978-3-540-53873-8Published: 16 October 1991

  • eBook ISBN: 978-3-642-58235-6Published: 11 March 2013

  • Series ISSN: 0172-5882

  • Edition Number: 3

  • Number of Pages: XVIII, 287

  • Number of Illustrations: 47 b/w illustrations

  • Topics: Electrical Engineering, Electronics and Microelectronics, Instrumentation

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