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Wirkung hochenergetischer Strahlung auf Halbleiterbauelemente

  • Book
  • © 1989

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Authors:
  1. Dietrich Bräunig

    1. Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH, Berlin 39, Deutschland

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Part of the book series: Mikroelektronik (MIKROELEKTRONIK)

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Table of contents (6 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-X
    Download chapter PDF

  2. Einführung

    • Dietrich Bräunig
    Pages 1-14

  3. Wechselwirkung (WW) zwischen Strahlung und Materie

    • Dietrich Bräunig
    Pages 15-38

  4. Schädigungsmechanismen im Silizium und Siliziumdioxid

    • Dietrich Bräunig
    Pages 39-102

  5. Bauelementbezogene Schädigung

    • Dietrich Bräunig
    Pages 103-170

  6. Bestrahlungstests und Schädigungsvorhersage

    • Dietrich Bräunig
    Pages 171-184

  7. Literatur

    • Dietrich Bräunig
    Pages 185-191

  8. Back Matter

    Pages 192-198
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Keywords

About this book

Mit dem rasch wachsenden Integrationsgrad mikroelektronischer Schaltungen steigt der mögliche Schaden durch hochenergetische Strahlung, insbesondere im Einsatzbereich von Luft- und Raumfahrttechnik, aber auch bei Kernreaktoren, in der Materialforschung und in der medizinischen Diagnostik und Therapie. Das Buch liefert eine fundierte Einführung, die von den physikalischen Grundlagen der Wechselwirkung von Strahlung mit Materie, über die Erklärung von Schädigungsmechanismen bis hin zur Beschreibung von Strahlungsempfindlichkeit reicht. Der starke Einfluß der verwendeten Technologie wird ebenso behandelt wie die Möglichkeit der Abschirmung und der Einfluß von Strukturverkleinerungen auf die Strahlensensibiltät.

Authors and Affiliations

  • Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH, Berlin 39, Deutschland

    Dietrich Bräunig

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