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Table of contents (9 chapters)
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Authors and Affiliations
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Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Deutschland
Olaf Herzog
Bibliographic Information
Book Title: Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben
Authors: Olaf Herzog
Series Title: IPA-IAO - Forschung und Praxis
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-47908-3
Publisher: Springer Berlin, Heidelberg
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eBook Packages: Springer Book Archive
Copyright Information: Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg 1997
Softcover ISBN: 978-3-540-63563-5Published: 29 October 1997
eBook ISBN: 978-3-642-47908-3Published: 13 March 2013
Edition Number: 1
Number of Pages: 123
Number of Illustrations: 61 b/w illustrations