Authors:

Walter Olbrich
1. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Deutschland
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Part of the book series: IPA-IAO - Forschung und Praxis (IPA, volume 202)

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Front Matter

Pages 1-14

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Einleitung
- Walter Olbrich
Pages 15-16
Entwicklungsbedarf in der PVD-Technologie
- Walter Olbrich
Pages 17-18
Aufgabenstellung
- Walter Olbrich
Pages 19-19
PVD-Verfahrenstechnologie
- Walter Olbrich
Pages 20-59
Die überlagert gepulste Biasspannung
- Walter Olbrich
Pages 60-69
Wirkungen der überlagert gepulsten Biasspannung auf die Prozeßbedingungen
- Walter Olbrich
Pages 70-84
Ergebnisse der Beschichtungsversuche
- Walter Olbrich
Pages 85-107
Anwendungsbeispiele
- Walter Olbrich
Pages 108-111
Bewertung der Ergebnisse
- Walter Olbrich
Pages 112-113
Zusammenfassung
- Walter Olbrich
Pages 114-116
Ausblick
- Walter Olbrich
Pages 117-117
Literaturverzeichnis
- Walter Olbrich
Pages 118-126
Back Matter

Pages 127-127

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Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Deutschland

Walter Olbrich

Book Title: Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Authors: Walter Olbrich
Series Title: IPA-IAO - Forschung und Praxis
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-642-47892-5
Publisher: Springer Berlin, Heidelberg
eBook Packages: Springer Book Archive
Copyright Information: Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg 1994
Softcover ISBN: 978-3-540-58511-4Published: 21 October 1994
eBook ISBN: 978-3-642-47892-5Published: 08 March 2013
Edition Number: 1
Number of Pages: 126
Topics: Engineering Economics, Organization, Logistics, Marketing, Control, Robotics, Mechatronics