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Halbleitertechnologie

  • Textbook
  • © 1981

Overview

Authors:
  1. W. Harth

    1. Technischen Universität, München, Deutschland

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Part of the book series: Teubner Studienskripte Technik (TSTST)

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Table of contents (10 chapters)

  1. Front Matter

    Pages N2-10
    Download chapter PDF

  2. Einleitung

    • W. Harth
    Pages 11-13

  3. Technische Herstellung von Silizium und Galliumarsenid

    • W. Harth
    Pages 14-17

  4. Reinigung beim Erstarren einer Schmelze

    • W. Harth
    Pages 18-27

  5. Methoden der Einkristall-Herstellung

    • W. Harth
    Pages 27-45

  6. Kristallbearbeitung

    • W. Harth
    Pages 46-52

  7. Herstellung von pn-Übergängen und Leitfähigkeitsprofilen

    • W. Harth
    Pages 52-85

  8. Planartechnologie

    • W. Harth
    Pages 86-96

  9. Kontakte, Montage und Kontaktierung

    • W. Harth
    Pages 96-108

  10. Fertigungsbeispiele

    • W. Harth
    Pages 108-118

  11. Anhang

    • W. Harth
    Pages 119-125

  12. Back Matter

    Pages 126-137
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Keywords

Authors and Affiliations

  • Technischen Universität, München, Deutschland

    W. Harth

About the author

Prof. Dr. Wolfgang Harth
Technische Universität München
Unter Mitwirkung von
J. Freyer
München

Bibliographic Information

  • Book Title: Halbleitertechnologie

  • Authors: W. Harth

  • Series Title: Teubner Studienskripte Technik

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-94051-3

  • Publisher: Vieweg+Teubner Verlag Wiesbaden

  • eBook Packages: Springer Book Archive

  • Copyright Information: Springer Fachmedien Wiesbaden 1981

  • Softcover ISBN: 978-3-519-10054-6Published: 01 January 1981

  • eBook ISBN: 978-3-322-94051-3Published: 09 March 2013

  • Edition Number: 2

  • Number of Pages: 135

  • Number of Illustrations: 38 b/w illustrations

  • Topics: Engineering, general

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