Mikrosystemtechnik

1. Front Matter

   Pages i-2

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2. Einführung und Begriffsbestimmung

   • Ulrich Mescheder

   Pages 3-10

3. Werkstoffe und technologische Grundlagen

   • Ulrich Mescheder

   Pages 11-64

4. Mikromechanische Sensoren

   • Ulrich Mescheder

   Pages 65-129

5. Aktorik in der Mikrosystemtechnik

   • Ulrich Mescheder

   Pages 130-183

6. Optik in der Mikrosystemtechnik

   • Ulrich Mescheder

   Pages 184-237

7. Systemtechniken

   • Ulrich Mescheder

   Pages 238-287

8. Back Matter

   Pages 288-323

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Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Nach mehr grundlegenden Arbeiten in den 80er Jahren haben ab Anfang dieses Jahrzehnts zunächst große Unternehmen die Möglichkeiten dieser neuen Technik erkannt und genutzt. Heute arbeiten aber bereits auch viele kleine und mittelständische Unternehmen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. Zur erfolgreichen Nutzung der Vorteile der Mikrosystemtechnik benötigt der Ingenieur ein fundiertes Grundwissen in den verschiedenen Disziplinen der Mikrosystemtechnik wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren, Systemtheorie und gleichzeitig für die praktische Anwendung unverzichtbares Wissen in Spezialbereichen. Das vorliegende Buch möchte beiden Anforderungen gerecht werden. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden daher immer auch detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen dabei der Selbstkontrolle, aber auch der Festigung des behandelten Stoffes. Das Buch wendet sich an Studierende der Elektrotechnik und der Physik mit dem Schwerpunkt Mikrosystemtechnik. Auch der Praktiker aus der Industrie kann zahlreiche interessante Informationen aus diesem Buch entnehmen.

• Aktor
• Elektronik
• Mechanik
• Mikrosystem (MEMS)
• Mikrosystemtechnik
• Mikrosystemtechnologie
• Optik
• Sensor
• Sensoren
• Systemtechnik
• Systemtheorie
• Werkstoff

"Es ist ein Lehrbuch von durchgehend gehobenem Niveau, Übungsaufgaben in jedem Kapitel dienen der Selbstrkontrolle. Es ist neben dem Studium und für die Pracis sehr zu empfehlen."
Technik in Bayern 4/01

• Fachhochschule Furtwangen / University of Applied Sciences, Deutschland

  Ulrich Mescheder

Prof. Dr. Ulrich Mescheder, Leiter des Mikroelektronik-Laboratoriums, Fachbereich Mechatronik und Mikrosysteme, Fachhochschule Furtwangen

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