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Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden

  • Book
  • © 1982

Overview

Authors:
  1. Bernd Höfflinger

    1. Lehrstuhl für Elemente der Elektrotechnik, Universität Dortmund, Deutschland

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  2. Günter Zimmer

    1. Lehrstuhl für Elemente der Elektrotechnik, Universität Dortmund, Deutschland

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  3. Heinz Gerd Graf

    1. Lehrstuhl für Elemente der Elektrotechnik, Universität Dortmund, Deutschland

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Part of the book series: Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen (FOLANW, volume 3133)

Part of the book sub series: Fachgruppe Elektrotechnik/Optik (FEO)

  • 103 Accesses

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Table of contents (7 chapters)

  1. Front Matter

    Pages i-1
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  2. Kurzfassung

    • Bernd Höfflinger, Günter Zimmer, Heinz Gerd Graf
    Pages 3-3

  3. Ausgangszielsetzung

    • Bernd Höfflinger, Günter Zimmer, Heinz Gerd Graf
    Pages 3-4

  4. Beschreibung der Teststrukturen

    • Bernd Höfflinger, Günter Zimmer, Heinz Gerd Graf
    Pages 5-8

  5. Angewandte Meßverfahren

    • Bernd Höfflinger, Günter Zimmer, Heinz Gerd Graf
    Pages 9-12

  6. Einfluß der Optimierungsmöglichkeiten

    • Bernd Höfflinger, Günter Zimmer, Heinz Gerd Graf
    Pages 12-20

  7. Vergleich der Fotodioden in p-Kanal, n-Kanal und CMOS-Technologie

    • Bernd Höfflinger, Günter Zimmer, Heinz Gerd Graf
    Pages 20-23

  8. Literaturverzeichnis

    • Bernd Höfflinger, Günter Zimmer, Heinz Gerd Graf
    Pages 24-25

  9. Back Matter

    Pages 26-42
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Keywords

Authors and Affiliations

  • Lehrstuhl für Elemente der Elektrotechnik, Universität Dortmund, Deutschland

    Bernd Höfflinger, Günter Zimmer, Heinz Gerd Graf

Bibliographic Information

  • Book Title: Einfluß von Getterprozessen auf die Eigenschaften von ionenimplantierten integrierten Fotodioden

  • Authors: Bernd Höfflinger, Günter Zimmer, Heinz Gerd Graf

  • Series Title: Forschungsberichte des Landes Nordrhein-Westfalen

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-87706-2

  • Publisher: VS Verlag für Sozialwissenschaften Wiesbaden

  • eBook Packages: Springer Book Archive

  • Copyright Information: Westdeutscher Verlag GmbH, Opladen 1982

  • Softcover ISBN: 978-3-531-03133-0Published: 01 January 1982

  • eBook ISBN: 978-3-322-87706-2Published: 09 March 2013

  • Edition Number: 1

  • Number of Pages: II, 42

  • Number of Illustrations: 7 b/w illustrations

  • Topics: Engineering, general

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