Skip to main content
SpringerLink
Log in

Mikrosystemtechnik

Konzepte und Anwendungen

  • Textbook
  • © 2004

Overview

Authors:
  1. Ulrich Mescheder
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed   Google Scholar

  • Eine Ãœbersicht über die Zukunftstechnologie Mikrosystemtechnik

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this book

Log in via an institution
eBook USD 29.99
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
Softcover Book USD 44.99
Price excludes VAT (USA)
  • Compact, lightweight edition
  • Dispatched in 3 to 5 business days
  • Free shipping worldwide - see info

Tax calculation will be finalised at checkout

Other ways to access

Licence this eBook for your library

Institutional subscriptions

Table of contents (6 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-XI
    Download chapter PDF

  2. Einführung und Begriffsbestimmung

    • Ulrich Mescheder
    Pages 1-10

  3. Werkstoffe und technologische Grundlagen

    • Ulrich Mescheder
    Pages 11-60

  4. Mikromechanische Sensoren

    • Ulrich Mescheder
    Pages 61-120

  5. Aktorik in der Mikrosystemtechnik

    • Ulrich Mescheder
    Pages 121-174

  6. Optik in der Mikrosystemtechnik

    • Ulrich Mescheder
    Pages 175-217

  7. Systemtechniken

    • Ulrich Mescheder
    Pages 219-256

  8. Back Matter

    Pages 257-292
    Download chapter PDF
Back to top

Keywords

About this book

Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile der Mikrosystemtechnik erfolgreich nutzen zu können benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und der Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle und Festigung des behandelten Stoffes. Neben wichtigen Korrekturen informiert die zweite Auflage ergänzend über neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren sowie über Mikroschalter im Bereich Aktorik. Im Internet finden sich unter http://mescheder.net/ulrich/ Ergänzungen zum Buch und Lösungen zu den Aufgaben.

Reviews

"Das Buch Mikrosystemtechnik nimmt unter den Lehrbüchern einen herausragenden Platz ein."
Physik Journal, 04/2005

About the author

Prof. Dr. Ulrich Mescheder ist Leiter des Mikroelektronik-Laboratoriums am Fachbereich Mechatronik und Mikrosysteme der Fachhochschule Furtwangen.

Bibliographic Information

Publish with us

Policies and ethics

Back to top

Search

Navigation