Mikrosystemtechnik

Konzepte und Anwendungen

Authors: Mescheder, Ulrich

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About this Textbook

Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile der Mikrosystemtechnik erfolgreich nutzen zu können benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und der Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle und Festigung des behandelten Stoffes. Neben wichtigen Korrekturen informiert die zweite Auflage ergänzend über neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren sowie über Mikroschalter im Bereich Aktorik. Im Internet finden sich unter http://mescheder.net/ulrich/ Ergänzungen zum Buch und Lösungen zu den Aufgaben.

About the authors

Prof. Dr. Ulrich Mescheder ist Leiter des Mikroelektronik-Laboratoriums am Fachbereich Mechatronik und Mikrosysteme der Fachhochschule Furtwangen.

Reviews

"Das Buch Mikrosystemtechnik nimmt unter den Lehrbüchern einen herausragenden Platz ein."
Physik Journal, 04/2005

Table of contents (6 chapters)

  • Einführung und Begriffsbestimmung

    Mescheder, Ulrich

    Pages 1-10

  • Werkstoffe und technologische Grundlagen

    Mescheder, Ulrich

    Pages 11-60

  • Mikromechanische Sensoren

    Mescheder, Ulrich

    Pages 61-120

  • Aktorik in der Mikrosystemtechnik

    Mescheder, Ulrich

    Pages 121-174

  • Optik in der Mikrosystemtechnik

    Mescheder, Ulrich

    Pages 175-217

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Bibliographic Information

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Book Title
Mikrosystemtechnik
Book Subtitle
Konzepte und Anwendungen
Authors
Copyright
2004
Publisher
Vieweg+Teubner Verlag
Copyright Holder
Vieweg + Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
eBook ISBN
978-3-322-84878-9
DOI
10.1007/978-3-322-84878-9
Softcover ISBN
978-3-519-16256-8
Edition Number
2
Number of Pages
XII, 292
Topics