Studium Technik

Einführung in die Mikrosystemtechnik

Grundlagen und Praxisbeispiele

Authors: Völklein, Friedemann, Zetterer, Thomas

Editors: Mildenberger, Otto (Hrsg.)

  • Grundlagen und Praxiswissen in einem Buch

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  • ISBN 978-3-322-91572-6
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About the authors

Prof. Dr. Friedemann Völklein lehrt an der FH Wiesbaden.
Dr. Thomas Zetterer ist wissenschaftlicher Abteilungsleiter am Institut für Mikrotechnik in Mainz.

Reviews

"Insgesamt ein sehr empfehlenswertes Buch für alle erfahrenen Mikrosystemtechnik-Entwickler, die sich in die Methodik der mathematischen Beschreibung von Mikrosystemen einlesen und einen Überblick über die verschiedenen Verfahren verschaffen wollen. Für den Anfänger sit das Buch allerdings nur bedingt geeignet,da der mathematische Anspruch sehr hoch ist."
ImpulsE 6/01

Table of contents (5 chapters)

  • Einleitung

    Völklein, Friedemann (et al.)

    Pages 1-7

  • Basistechnologien der Mikrosystemtechnik

    Völklein, Friedemann (et al.)

    Pages 8-127

  • Grundstrukturen und Anwendungen

    Völklein, Friedemann (et al.)

    Pages 128-244

  • Systemintegration

    Völklein, Friedemann (et al.)

    Pages 245-362

  • Beispiele komplexer Mikrosysteme

    Völklein, Friedemann (et al.)

    Pages 363-391

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Bibliographic Information

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Book Title
Einführung in die Mikrosystemtechnik
Book Subtitle
Grundlagen und Praxisbeispiele
Authors
Editors
  • Otto Mildenberger
Series Title
Studium Technik
Copyright
2000
Publisher
Vieweg+Teubner Verlag
Copyright Holder
Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden
eBook ISBN
978-3-322-91572-6
DOI
10.1007/978-3-322-91572-6
Edition Number
1
Number of Pages
IX, 400
Topics