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Springer Vieweg - Elektrotechnik - Schaltungen & Systeme | Praxiswissen Mikrosystemtechnik - Grundlagen - Technologien - Anwendungen

Praxiswissen Mikrosystemtechnik

Grundlagen - Technologien - Anwendungen

Völklein, Friedemann, Zetterer, Thomas

3. Aufl. 2017, 500 S. 367 Abb.

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ISBN 978-3-8348-2111-9

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  • Fundgrube für Praktiker, Lehrbuch für Studenten
Die Mikrosystemtechnik gilt als eine der Schlüsseltechnologien des 21. Jahrhunderts. Dieses Fachbuch trägt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen Rechnung und gibt dem Leser einen anschaulichen Einstieg in die faszinierende Welt dieser Technik. Hochaktuelle Anwendungen aus der Praxis von komplexen Mikrosystemen zeigen, wie sich miniaturisierte Funktionselemente auf kleinstem Raum integrieren lassen. Das umfangreiche Literaturverzeichnis ist dabei eine wertvolle Hilfe. Dem Fachmann aber auch Studierenden dient das Buch als Nachschlagewerk für zahlreiche technologische Fragestellungen. In der 3. Auflage sind insbesondere das Kapitel Aufbau- und Verbindungstechnik sowie das Kapitel Simulation überarbeitet.

Content Level » Upper undergraduate

Stichwörter » Berechnungen - Chip - Dreidimensionale Mikrostrukturierung - Dünnschichttechnologie - Entwicklung - Fertigung - Halbleitertechnik - Halbleitertechnologie - Hardware - Herstellung - Lithographie - Mechatronik - Mikroelektronik - Mikrostrukturierung - Planare Mikrostrukturierung - Reinraumtechnik - Siliziumtechnik - Solartechnik - Solarwirtschaft - Solarzellen - Systemintegration - Wafer

Verwandte Fachbereiche » Elektronik & Mechatronik - Schaltungen & Systeme - Technische Informatik

Inhaltsverzeichnis 

Basistechnologien der Mikrosystemtechnik - Grundstrukturen und Anwendungen - Systemintegration - Beispiele komplexer Mikrosysteme

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