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Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs

  • Textbook
  • © 1997

Overview

Authors:
  1. Frank Schröder-Oeynhausen
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  • 879 Accesses

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Table of contents (7 chapters)

  1. Front Matter

    Pages 1-11
    Download chapter PDF

  2. Einleitung

    • Frank Schröder-Oeynhausen
    Pages 13-16

  3. Materialkunde

    • Frank Schröder-Oeynhausen
    Pages 17-28

  4. Verwendete oberflächenanalytische Methoden

    • Frank Schröder-Oeynhausen
    Pages 29-50

  5. Quantitativer Nachweis von Metallverunreinigungen auf GaAs

    • Frank Schröder-Oeynhausen
    Pages 51-74

  6. Charakterisierung passivierender Oberflächenoxide auf GaAs

    • Frank Schröder-Oeynhausen
    Pages 75-121

  7. Zusammenfassende Diskussion

    • Frank Schröder-Oeynhausen
    Pages 122-123

  8. Literaturverzeichnis

    • Frank Schröder-Oeynhausen
    Pages 124-138

  9. Back Matter

    Pages 139-140
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Keywords

About this book

Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfläche von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberflächennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen mit der Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS), das es möglich macht, Oberflächenbelegungen auf GaAs mit Konzentrationen kleiner 109 Atome/cm2 quantitativ nachzuweisen. Ein Vergleich passivierender Oxide hinsichtlich ihrer Komponenten, Schichtstruktur und Dicke liefert die Grundlagen für gezielte Änderungen des Herstellungsprozesses.

About the author

Dr. Frank Schröder-Oeynhausen studierte Physik an der Universität zu Köln und Betriebswirtschaft an der FernUniversität Hagen. Er ist Technologieberater beim VDI in Düsseldorf.

Bibliographic Information

  • Book Title: Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs

  • Authors: Frank Schröder-Oeynhausen

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-95365-0

  • Publisher: Deutscher Universitätsverlag Wiesbaden

  • eBook Packages: Springer Book Archive

  • Copyright Information: Deutscher Universitäts-Verlag GmbH, Wiesbaden 1997

  • Softcover ISBN: 978-3-8244-2091-9Published: 23 September 1997

  • eBook ISBN: 978-3-322-95365-0Published: 09 March 2013

  • Edition Number: 1

  • Number of Pages: 138

  • Number of Illustrations: 51 b/w illustrations

  • Topics: Semiconductors, Solid State Physics, Electronics and Microelectronics, Instrumentation, Business and Management, general

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