Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten

1. Front Matter

   Pages 1-16

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2. Einleitung

   • Rolf Herz

   Pages 17-20

3. Stand der Technik

   • Rolf Herz

   Pages 21-34

4. Analyse der Partikelquellen und der verfügbaren Partikelmeßtechnik

   • Rolf Herz

   Pages 35-52

5. Anforderungen an die Prüfverfahren

   • Rolf Herz

   Pages 53-56

6. Konzeption von Prüfständen für Kontaminationsuntersuchungen

   • Rolf Herz

   Pages 57-69

7. Praktische Kontaminationsuntersuchungen

   • Rolf Herz

   Pages 70-82

8. Untersuchungsergebnisse

   • Rolf Herz

   Pages 83-102

9. Meß- und Prüfrichtlinien für Versorgungskomponenten von Prozeßflüssigkeiten

   • Rolf Herz

   Pages 103-109

10. Bewertung

    • Rolf Herz

    Pages 110-112

11. Zusammenfassung und Ausblick

    • Rolf Herz

    Pages 113-115

12. Literaturverzeichnis

    • Rolf Herz

    Pages 116-123

13. Back Matter

    Pages 125-131

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Das Ziel dieser Arbeit war die Entwicklung von Prüfverfahren, mit denen Komponenten von Versorgungssystemen hinsichtlich ihres Kontaminationsverhaltens beurteilt und enthaltene Partikelquellen ergründet werden können. Aufbauend auf dem Stand der Technik erfolgt eine theoretische Analyse der Ursachen und Mechanismen des Partikeleintrags in Flüssigkeiten von den Wandungen der Versorgungssysteme. Daraus lassen sich die möglichen Partikelquellen in Versorgungskomponenten zusammenstellen und die verfügbaren Meßtechniken für Partikel in Flüssigkeiten kritisch beurteilen. Auf der Basis dieser Analysen werden die prüfbaren Parameter ermittelt und die entsprechenden Anforderungen an die Prüfungsverfahren formuliert. Aus den gesammelten Erfahrungen bei praktischen Kontaminationsuntersuchungen wird ein Universalprüfstand für sämtliche Prüfungen konzipiert und entwickelt. Die Untersuchungen liefern eine Reihe grundlegender Ergebnisse. Es werden daraus u.a. der optimierte Einsatz der Partikelmeßgeräte, günstige und ungünstige Konstruktionsmerkmale von Ventilen, Einflüsse auf das Filterabscheideverhalten und das Gesamtverhalten von Versorgungssystemen abgeleitet. Die Eignung der entwickelten Prüfverfahren für umfassende Untersuchungen an Versorgungssystemen findet ihren Niederschlag in einer Formulierung von Richtlinien zur Durchführung derartiger Untersuchungen.

• Arbeit
• Einsatz
• Entwicklung
• Fassung
• Filter
• Konstruktion
• Messgerät
• Messtechnik
• Partikel
• Partikelmesstechnik
• Prüfstand
• Prüfstände
• Ventil
• Verfahren
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• Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Deutschland

  Rolf Herz

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