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  • © 2016

Mikrosystemtechnik

Vom Transistor zum Biochip

  • Verständliche Einführung in eine Schlüsseltechnologie
  • Beschreibung von mikrosystemtechnischen Produkten auch des täglichen Lebens und ihrer Funktionsweise
  • Darstellung der zukünftigen Potentiale dieser Technologie

Part of the book series: Technik im Fokus (TECHNIK)

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Table of contents (12 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-IX
  2. Einleitung

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 1-11
  3. Transistoren und Siliziumtechnologie

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 13-35
  4. Der piezoresistive Effekt

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 37-42
  5. Volumenmikromechanik

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 43-54
  6. LIGA-Verfahren

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 55-64
  7. Oberflächenmikromechanik

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 65-74
  8. Reaktives Ionentiefenätzen

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 75-80
  9. Softlithografie

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 81-87
  10. Mikrofluidische Chips und Chip-Labore

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 89-105
  11. Direkte Methoden der Mikrostrukturierung

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 107-115
  12. Mikro-Nano-Integration

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 117-126
  13. Ausblick

    • Stephanus Büttgenbach
    Pages 127-135
  14. Back Matter

    Pages 137-151

About this book

Was ist Mikrosystemtechnik? Welche Rolle spielt sie in Technik und Wirtschaft? Welche Produkte gibt es? Wie stellt man sie her?

Mikrosysteme werden heute erfolgreich in vielen Anwendungsfeldern eingesetzt:  von der Fahrzeugtechnik über die Biomedizintechnik und Kommunikationstechnik bis zum Umweltschutz. Es sind kleine Produkte mit großer Wirkung: die einzelnen Komponenten können einige Mikrometer groß sein, die ganzen Systeme meist einige Millimeter.  Der Autor beschreibt die technische Entwicklung der Mikrosystemtechnik und erläutert an Hand typischer Anwendungen ihre Bauweise, Funktion und Herstellung.  Und er geht auf die zukünftigen Trends dieser Schlüsseltechnologie ein.

Reviews

“… Das Büchlein, das weder Lehrbuch noch sytematisches Kompendium ist, kann allen bestens empfohlen werden, die sich für Mikrosystemtechnik interessieren und einen knappen (ca. 150 Seiten) aber fundierten Einblick in diese Technik suchen.” (Karl Schäfer, in: Amazon.de, 14. Mai 2017)

Authors and Affiliations

  • Institut für Mikrotechnik, Technische Universität Braunschweig, Braunschweig, Germany

    Stephanus Büttgenbach

About the author

Stephanus Büttgenbach ist ein Experte der Mikrosystemtechnik. Er arbeitet seit 1985 in Forschung,  Entwicklung und Lehre auf diesem Gebiet in Industrie und Universität. Er ist in nationalen und europäischen Fachgesellschaften engagiert.

Bibliographic Information

  • Book Title: Mikrosystemtechnik

  • Book Subtitle: Vom Transistor zum Biochip

  • Authors: Stephanus Büttgenbach

  • Series Title: Technik im Fokus

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-662-49773-9

  • Publisher: Springer Berlin, Heidelberg

  • eBook Packages: Computer Science and Engineering (German Language)

  • Copyright Information: Springer-Verlag GmbH Deutschland 2016

  • Softcover ISBN: 978-3-662-49772-2Published: 15 November 2016

  • eBook ISBN: 978-3-662-49773-9Published: 01 November 2016

  • Series ISSN: 2194-0770

  • Series E-ISSN: 2194-0789

  • Edition Number: 1

  • Number of Pages: VIII, 151

  • Number of Illustrations: 52 b/w illustrations

  • Topics: Popular Science in Technology, Nanotechnology and Microengineering

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