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Reinraumtechnik

  • Book
  • © 2002

Overview

  • Fundierte Darstellung der Reinraumtechnik als branchenübergreifende Disziplin
  • Systematische Verknüpfung von Grundlagen und Anwendungen
  • Anleitung für eigene Problemlösungen
  • Includes supplementary material: sn.pub/extras

Part of the book series: VDI-Buch (VDI-BUCH)

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Table of contents (18 chapters)

Keywords

About this book

Ausgehend von reinraumtechnischen Problemstellungen werden die Grundlagen und Anwendungen beschrieben und daraus Prinzipien für technische Lösungswege hergeleitet. Für alle wichtigen Aspekte der Kontaminationskontrolle werden Methoden zum Nachweis von Mikroverunreinigungen, technische Lösungskonzepte und deren Leistungsgrenzen dargestellt. Eine Besonderheit des Buches liegt in der systematischen Verknüpfung von Grundlagen, Problemstellungen, technischen Lösungswegen und deren praktischer Anwendung. Das Buch vermittelt dem Leser einen direkten Weg von der Problemstellung über die Auswahl der einzelnen Elemente bzw. Instrumente der Reinraumtechnik hin zur praktischen technischen Lösung. Die Herausgeber gelten als Nestoren der Reinraumtechnik, sie haben sich durch ihre Aktivitäten in der Industrie wie den Gremien um die Entwicklung der Thematik besonders verdient gemacht.

Editors and Affiliations

  • Siemens Axiva GmbH & Co. KG, Frankfurt/Main, Deutschland

    Lothar Gail

  • Hattersheim, Deutschland

    Hans-Peter Hortig

Bibliographic Information

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