Laser/Optoelektronik in der Technik / Laser/Optoelectronics in Engineering

Laser und Lasersysteme / Laser and Lasersystems

1. Front Matter

   Pages 1-1

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2. Excimer Laser

   1. Stand der Entwicklung von Hochleistungs-Excimerlasern

      • W. Mückenheim

      Pages 3-12

   2. A First Step to Understanding the Influence of Electrode- and Preionization-Profile on the Homogenity of XeCl*-Lasers (Model and Experiment)

      • M. Bähr, W. Bötticher

      Pages 13-16

   3. Zweidimensionale Berechnung der Ausbreitung von Dichtestörungen in gepulsten Hochleistungslasern

      • A. Holzwarth, K. Grünewald, P. Berger

      Pages 17-21

   4. Advanced Lithography Excimer System: Absolute Wavelength Adjustment, 4W Average Power

      • P. Oesterlin, P. Lokai, B. Burghardt, W. Mückenheim, H.-J. Kahlert, D. Basting

      Pages 22-25

   5. Zuverlässigkeit und Lebensdauer moderner Industrie-Excimerlaser

      • P. Oesterlin, H.-J. Kahlert

      Pages 26-29

   6. Excimer Laser Tested to 10 Billion Shots

      • U. Rebhan, U. Brinkmann, W. Mückenheim, D. Basting

      Pages 30-33

   7. Recent Progress in XeF (C-A) Excimer Laser Technology

      • F. K. Tittel, C. B. Dane, Th. Hofmann, S. Yamaguchi, C. J. Hirst, R. Sauerbrey et al.

      Pages 34-37

3. CO2-Laser

   1. CO2-Laser für die industrielle Fertigung Neue Wege der Geräteentwicklung und Anwendung

      • Hans Opower

      Pages 38-46

   2. Beam Quality of a Fast Axial Flow CO2-Laser with RF-Excitation

      • O. Märten, V. Sturm, J. Franek, P. Alzer, M. Niessen, P. Loosen

      Pages 47-51

   3. Multipass-Resonators for Compact CO2-Lasers

      • A. Bauer, O. Märten, P. Loosen

      Pages 52-56

   4. Neue HF-Anregungsquellen zur Optimierung von CO2-Laser-Anwendungen

      • A. Meddour

      Pages 57-60

   5. CO2-Hochleistungs-Wellenleiterlaser der 1 kW Klasse

      • R. Nowack, H. Opower, U. Schaefer, K. Wessel, Th. Hall, H. Krüger et al.

      Pages 61-65

   6. Kenngrößen in der Strahldiagnostik

      • H. Oebels, R. Kramer, P. Loosen

      Pages 66-70

   7. Anpassung hochfrequenzangeregter Laser an die Energieversorgung

      • R. Paul, A. Giesen, M. von Borstel

      Pages 71-76

   8. Optimization of the Optical System for a High-Power Transverse Flow CO2-Laser

      • G. Rabczuk

      Pages 77-80

   9. Investigation of the Spatial Homogenity of High Frequency Excited Laser Discharges

      • H. Schwede, K. Du, J. Franek, P. Loosen, O. Märten, R. Wagner

      Pages 81-86

   10. Temporal Measurement of CO2-Laser Output Resolved into Transverse Direction, Polarization Components and Rotational Transitions

       • V. Sturm, L. Gronewäller, P. Loosen, H. Schülke

       Pages 87-92

   11. Ignition of rf-Excited Lasers with Solid State and Tube Generators

       • B. Walter, M. Bohrer, D. Schuöcker

       Pages 93-97