Mikrosystemtechnik

1. Front Matter

   Pages I-XI

   PDF

2. Einführung und Begriffsbestimmung

   • Ulrich Mescheder

   Pages 1-10

3. Werkstoffe und technologische Grundlagen

   • Ulrich Mescheder

   Pages 11-60

4. Mikromechanische Sensoren

   • Ulrich Mescheder

   Pages 61-120

5. Aktorik in der Mikrosystemtechnik

   • Ulrich Mescheder

   Pages 121-174

6. Optik in der Mikrosystemtechnik

   • Ulrich Mescheder

   Pages 175-217

7. Systemtechniken

   • Ulrich Mescheder

   Pages 219-256

8. Back Matter

   Pages 257-292

   PDF

Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile der Mikrosystemtechnik erfolgreich nutzen zu können benötigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und der Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche Übungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle und Festigung des behandelten Stoffes. Neben wichtigen Korrekturen informiert die zweite Auflage ergänzend über neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren sowie über Mikroschalter im Bereich Aktorik. Im Internet finden sich unter http://mescheder.net/ulrich/ Ergänzungen zum Buch und Lösungen zu den Aufgaben.

• Elektronik
• Mikrosystem (MEMS)
• Mikrosystemtechnik
• Optik
• Sensor
• Systemtechnik
• Systemtheorie
• Werkstoff

"Das Buch Mikrosystemtechnik nimmt unter den Lehrbüchern einen herausragenden Platz ein."
Physik Journal, 04/2005

Prof. Dr. Ulrich Mescheder ist Leiter des Mikroelektronik-Laboratoriums am Fachbereich Mechatronik und Mikrosysteme der Fachhochschule Furtwangen.

Policies and ethics